Materiais sensíveis são os principais componentes dos sensores de filme fino de alta temperatura. Sua estabilidade química e elétrica tem uma grande influência sobreAnéis Piezoelétricos Vibração SensorSe os sensores de filme fino podem ser usados em ambientes agressivos. Os tipos de materiais sensíveis, a microestrutura do material sensível possuem estrutura de cristal próprio, e as propriedades de operadoras livres são realizadas a sensibilidade do coeficiente do sensor de filme fino fabricado. Em geral, o medidor de tensão de filmes de liga tem o fator de calibre mais baixo, seguido por um calibre de tensão de película fina feita de material cerâmico piezo, e o mais altoTransdutor de disco cerâmico piezoelétricoé um medidor de tensão de filme fino semicondutor.
co.sensibilidade eficiente
O maior coeficiente de tensão da alta temperatura tem fina calibre de tensão de película, maior coeficiente de alta temperaturaSensor piezoelétrico de material PZTO termopar do filme fino, e o coeficiente de temperatura mais alta de resistência é o fino filme de filme, a maior sensibilidade e o sinal mais fácil de medição, mas a sensibilidade do sensor de filme fino de alta temperatura é feita de diferentes materiais de piezo sensíveis. Os coeficientes variam amplamente . Os medidores de tensão de alta temperatura são feitos de ligas de alta temperatura geralmente têm um coeficiente de tensão de 1 a 3, enquanto os medidores de cerâmica de piezo têm um coeficiente de pressão ligeiramente maior de 3 a 9, mas são comparáveis a Aqueles de medidores de cepo de semicondutores (100 a 200). O que ainda não é alto o suficiente. O coeficiente de um filme fino termopar é feito de uma liga é baixa, o coeficiente de seebeque de um termopar fino de filme é feito de cerâmica piezo é ligeiramente alto.
PErificância de alta temperatura
Materiais sensíveis suportam a tarefa de gerar sinais e tolerar temperaturas limitadas. Quando a temperatura excede uma certa temperatura detransdúcio de cerâmica piezoelétrica ultra-sônicar, a mudança de fase ou até mesmo crack o material de piezo sensível ocorre, o que afeta o desempenho elétrico e eventualmente leva à falha do sensor de filme fino. Actualmente, a liga pode suportar temperaturas de 1 100 ° C e a cerâmica piezo pode suportar temperaturas de 1 500 ° C. Nas aplicações de alta temperatura (como áreas de alta temperatura de aeroentos), a temperatura excedeu 1700 ° C. Hoje em dia, os sensores de filme fino de alta temperatura não podem mais suportar para selecionar materiais e processos piezo que são mais resistentes a altas temperaturas e podem suportar maior sensor de temperaturas.
Ma.Processo de fabricação de material de piezo sensível
Sensores cerâmicos piezoelétricos.são materiais sensíveis e têm as características da resistência à alta temperatura e resistência à oxidação. O estado inicial é líquido. Após a cura ou termo térmico a uma temperatura de cerca de 90 ° C a cerca de 100 ° C, a temperatura é de cerca de 300 ° C a 600 ° C. A ligação transversal é realizada, e a precursora piezo cerâmica é finalmente pirolisada a uma temperatura de cerca de 1 000 ° C. Precursor piezocerâmica trabalho estável em temperaturas acima de 1 400 ° C, mas encolher durante a ligação cruzada e a pirólise, tipicamente encolhendo em cerca de 30%. Adicionar enchimentos pode reduzir o encolhimento. Há processos maduros para fabricar peças do corpo usando o sensor de vibração de disco piezoelétrico precursor, mas há poucos relatos sobre seus processos de padrões de filme fino. Não há relatório sobre o processo de padronização de películas finas PDC em ligas de níquel-base. Portanto, o uso de cerâmica piezo para a fabricação é sensor de filme fino de alta temperatura requer a resolução do encolhimento. É problema e problemas de processo de padronização. Escolher o material certo pode melhorar o coeficiente de sensibilidade do sensor de filme fino de alta temperatura. O coeficiente de sensibilidade do sensor de filme fino de alta temperatura também pode ser melhorado, alterando a composição do material sensível por materiais sensíveis à multi-camada.
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