Sensor de fluxo térmico de filme fino de alta temperatura

Medidor de filme fino de alta temperatura geralmente consistem em uma camada de resistência térmica e uma camada termômetro fina de filme. A camada de resistência térmicapiezos discos transdutorgeralmente utiliza material de PZT com uma pequena condutividade térmica de modo a que os termómetros estão em ambos os lados pode obter uma grande diferença de temperatura, obtendo-se assim um sinal mais forte e uma maior sensibilidade. A camada termómetro película fina é tipicamente um termopar de película fina ou um transdutor de temperatura de resistência. Poliimida tem alta resistência térmica e excelentes propriedades mecânicas. O medidor de fluxo térmico de película fina como uma camada de resistência térmica pode ser usado abaixo de 400 ° C. sílica desensor de efeito piezoeléctricotem uma baixa condutividade térmica e as boas propriedades mecânicas. Portanto, como o material da camada de resistência térmica mais alta temperatura da película fina medidores de fluxo térmico, este medidor de fluxo térmico pode ser utilizado a uma temperatura de 900 ° C. Alta temperatura medidores de fluxo de película fina pode utilizar precursores de materiais cerâmicos como RTD e camadas de resistência térmica. Precursoras cerâmica piezoeléctricos têm medidor de fluxo térmico a alta temperatura para o ambiente de aero-motor foi fabricado com um SiN de 250 mm na camada de barreira térmica meio. O medidor de fluxo térmico pode ser usado a temperaturas de cerca de 1 400 ° C.

sensores multi-funcionais de película fina são integrados integrar com alta temperatura estirpe de película finatransdutor tubo piezoeléctrico, Termômetros e medidores de fluxo térmicos. É um desafio, porque os três sensores de detecção tem princípios diferentes, estruturas diferentes e tamanhos diferentes. Um sensor de película fina integrado multifuncional foi concebido para medir simultaneamente a tensão, a temperatura, e o fluxo de calor, onde Pt medidas strain gauge Pt-13Rh / Pt. termopar mede a temperatura, 2 camadas de diferentes espessuras de camada de alumina resistência térmica e 40 pares de Pt Uma pilha térmica do tipo medidor de fluxo térmico é constituído por uma -13Rh / PT thermocouple.which medidas do fluxo de calor. A fim de quebrar a temperatura de trabalho de liga de materiais, a NASA desenvolveu ainda um sensor de filme fino multi-funções integradas para TAN materiais piezoeléctricos cerâmicos.

osensor de placa piezoelétrica.Usa um processo de deslocamento para padronizar um fator de estirpe de 3,9, TCR de -93 × 10-6 ℃ -1, resistividade de 259 μΩcm, uma sensibilidade aparente de -24 × 10-6 ℃ -1. O TCR de materiais cerâmicos e ligas de piezo é negativo, a NASA desenvolveu sensores multifuncionais de alta temperatura de alta temperatura para a cerâmica Piezo. EssesTransdutor de anéis piezoelétricosInclua medidores de estirpe de filme fino de alta temperatura, termopares de alta temperatura de filme fino e medidores térmicos de película fina de alta temperatura. O TCR de PD-13CR é positivo. Os dois juntos constituem uma camada funcional que torna o TCR positivo e negativo compensando uma porção,Piezoelétrico Materiais Piezo Tube Transducerestá reduzindo a TCR global, aumentando assim a sensibilidade. O sensor de filme fino multifuncional tem problemas de espalhamento e difusão, problemas de compatibilidade do processo de descascamento e problemas de expansão de alta temperatura.