Termômetro de filme de piezo de alta temperatura

O termômetro de filme fino de alta temperatura inclui um termopar filme fino e um detector de temperatura de resistência (RTD). Os termopares de filme fino podem ser usados ​​a 1 000 ° C, mas os termopares deriva devido à oxidação do germânio no filme fino. Uma camada de alumina protectoratransdutor de disco piezo.podem ser atomizados de reduzir a oxidação de germânio; Pt-13 Rh / Pt de filme fino termopares Devido a técnicas de processamento diferentes, o intervalo de temperatura máxima de operação é de 900 ° C ~ 1 a 200 ° C; NiCr-Nimn termopares de película fina são usados ​​para medir a temperatura de baixa pressão palheta de guiamento da turbina do motor de turbina a gás, a temperatura máxima de operação dePiezo Disc Crystal.é de 400 ° C;

Os termopares são geralmente utilizados para medir as temperaturas transientes até uma temperatura máxima de funcionamento de 800 ° C. Tungsténio / tório termopares de película fina, exigem uma camada protectora a temperaturas elevadas para a operação normal e2Mhz discos piezo cristalpode operar a uma temperatura de 1370 k sob proteção de camada de proteção; Ni O termopar de filme fino NI / CR pode ser usado para monitorar a temperatura de corte e pode funcionar abaixo de 890 K. Ni / CR e termopares finos de filmes de liga Ni-Al podem monitorar a temperatura do processo de fabricação e são usados ​​à temperatura ambiente a 600 ° C; PT / PD termocopiantes de filme fino desensor de placa piezoelétrica.são usados ​​para monitorar a temperatura do tratamento térmico das bolachas de silício e podem sobreviver a 850 ° C durante 10-20 h. Como uma cerâmica de óxido, o material cerâmico ITO possui características de alta resistência à temperatura, resistência à oxidação e filme de cerâmica ITO composto por diferentes materiais de eletrodos.