Transdutor ultra-sônico de alta temperatura de filme fino

Uma ampla gama de filme fino a alta temperaturatransdutor ultra-sônico.são apresentados. Medidores de tensão de filme fino de alta temperatura e medidores de estirpe de fina de alta temperatura são usados ​​para filmes finos de liga dupla para os materiais sensíveis em um estágio inicial. Devido a diferentes características materiais e processos de fabricação deTransdutor de distância ultra-sônica., Medidores de tensão de película fina são feitas por diferentes ligas .que podem suportar a temperatura varia muito. Por exemplo, liga de NiCr medidores de deformação de película fina pode resistir a temperaturas de ensaio de 600 ° C; PDCR liga medidores de deformação de película fina pode atingir uma temperatura máxima de funcionamento do sensor de distância de ultra-sons.

Depois de optimização dos parâmetros do processo, que pode ser utilizado a uma temperatura de 1 100 ° C; Ni-CrAlY de película fina extensómetros pode suportar temperaturas de até 800 ° C. piezo materiais cerâmicos podem suportar temperaturas mais altas do que as ligas actualmente, medidores de tensão piezoeléctricos cerâmicos incluem ITO (óxido de índio-estanho) e tan 2 tipos. ITO medidores de deformação de película fina pode operar à temperatura ambiente desensor de folha de dados gama de ultra-sons, Mas o nível de tensão e a temperatura têm um grande efeito sobre o coeficiente de variação, que é causado principalmente pela difusão do oxigénio na película de ITO. Tan de película fina medidores de tensão pode resistir a temperaturas de até 400 ° C. Os parâmetros do processo tem uma grande influência sobre a microestrutura de TaN filmes finos gama de ultra-sons do sensor .o coeficiente de resistência e tensão coeficiente de calibres de deformação de película fina. O coeficiente de temperatura de resistência de TCR de cerâmica piezoeléctricos e ligas é oposta um ao outro e pode anular-se mutuamente.

Actualmente, multicamadas medidores de tensão de película fina são feitos de cerâmica piezoeléctricos e ligas têm sido produzido. Tan é instável no ar acima de 500 ° C, de modo que a temperatura através de tan / PDCR extensómetros multicamadas não exceda 500 ° C. O titanato de bário o estrôncio é utilizado como o meio sensível do sensor de medição de distância de ultra-sons capacitivo, e o eléctrodo PDCR como a alta temperatura fina extensómetro filme adopta uma estrutura interdigitados placa plana e pode resistir a uma alta temperatura de 500 ° C.