2020-07-14 Filmes piezoelétricos são amplamente utilizados por causa de seu excelente desempenho. Filmes grossos piezoelétricos podem ser usados para fabricar uma variedade de dispositivos micro, como micropumps, motores ultra-sônicos, ressonadores, sensores de filmes espessos piroeléctricos, atuadores de filme espessos, captadores de micro-energia, etc. 1. Hydroph